產(chǎn)品詳情
簡單介紹：
詳情介紹：
氟橡膠性能：
耐高溫性：連續(xù)使用溫度範圍為-20℃至230℃，適應(yīng)化學氣相沉積（CVD）、蝕刻等高溫工藝
化學穩(wěn)定性：耐受強酸、強堿及有機溶劑，有效防止工藝氣體泄漏
潔淨度：低釋氣性（總質(zhì)量損失＜1%）和極低離子析出量，避免晶圓汙染
應(yīng)用場景：常用於蝕刻設(shè)備、真空腔體等，成本較FFKM低，性價比高
耐高溫性：連續(xù)使用溫度範圍為-20℃至230℃，適應(yīng)化學氣相沉積（CVD）、蝕刻等高溫工藝
化學穩(wěn)定性：耐受強酸、強堿及有機溶劑，有效防止工藝氣體泄漏
潔淨度：低釋氣性（總質(zhì)量損失＜1%）和極低離子析出量，避免晶圓汙染
應(yīng)用場景：常用於蝕刻設(shè)備、真空腔體等，成本較FFKM低，性價比高
在線詢價
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